Strukturbaum
| Publikation |
| Autoren des Beitrags | |||||||||||
| Titel des Beitrags | DUV- Lithografieobjektiv zur Mikrostrukturierung | ||||||||||
| Titel-Erweiterung des Beitrags | Posterbeitrag P55 | Erscheinungsjahr | 2013 | ||||||||
| ISBN | 1614-8436 | Publikations-Art | Kongressschrift / Tagungsband | Serie/Bezeichnung | DGaO-Proceedings | Name der Konferenz/Veranstaltung | 114. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik | ||||
| Tagungsort | Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig | Tagungsdatum | 25.05.2013 | ||||||||
| URL : | http://www.dgao-proceedings.de/suche/suche_d.php | ||||||||||
| Einrichtungen |
Bachelorstudiengang Physical Engineering (Technik Entwicklung)
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| Beteiligte Personen |
Pfeffer
, Michael
Prof.
Dr. sc. techn.
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| Projekte |
Wissenschaftliche Veröffentlichungen |
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